罗茨真空泵的优点:
1、在较宽的压力范围内具有较大的抽速。
2、起动快。
3、泵腔及转子工作时为干式无油,对被抽气体中的灰尘,水蒸汽不敏感,油蒸汽污染真空系统的情况比油增压泵、油扩散泵和油封机械泵要少得多。
4、由于动平衡较好,所以运转时的振动小、噪声低。
5、驱动功率小,这是因为机械摩擦损失小。
6、不用排气阀。
7、转速高、体积小,可制成任何几何抽速的泵。
8、可凝性蒸汽对泵无影响,因为经过泵时还没压缩到饱和蒸汽压。
9、与其它机械真空泵比较,节能效果显著,且耗油量小。
罗茨真空泵的缺点:
1、对氢气的抽气效果比油增压泵差,通过间隙返回的流量较大。
2、泵的制造较复杂,特别是转子型线,加工和检查都比较困难,而油增压泵结构简单,无大的运动部件,安装较方便。
3、不能单独使用,须有前级真空泵组成机组形式使用。一般与前级泵的抽速比为1:2~1:10不等,为保护罗茨真空泵,须在机组中安装过载保护装置。
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